Металлическая плазма

Так выглядит плазма, которая образуется при распылении металла мощным лазерным лучом в разреженной атмосфере азота. Раскаленное облако из ионов и капель металла, ускоренное микровзрывом на поверхности мишени, летит вверх и оседает на подложке. При остывании металл реагирует с азотом, и получается тонкая пленка нитрида. Важное достоинство выращивания пленок из высокотемпературной плазмы в том, что подложку не всегда обязательно нагревать до высокой температуры и, значит, при охлаждении не возникают термические напряжения, поэтому пленка не растрескивается.

Для перевода азота в активное атомарное состояние в установке создают газовый разряд при пониженном давлении. Облака такой низкотемпературной плазмы принимают весьма причудливые очертания

Лазерный метод напыления нитридных пленок в атмосфере азота или аммиака может оказаться незаменимым, когда нам понадобится сделать синие, голубые, ультрафиолетовые лазерные светодиоды повышенной яркости на основе нитридов галлия, индия и алюминия.

Контуры облака высокотемпературной плазмы, которое возникает при распылении металла мишени лучом лазера, гораздо более постоянны

Кандидат физико-математических наук
И.Е. Титков