Оксидный щит графена

Александр Гурьянов

Графен знаменит своими приложениями в микроэлектронике. Однако этот двумерный слой атомов графита довольно легко разрушить, например, механически. Для защиты его тонких слоев и активных поверхностей от внешних воздействий технологи применяют так назывемую пленочную пассивацию.

Австралийские ученые под руководством доктора Мэтью Геберта (Matthew Gebert) из университета Монаша предложили пассивировать графен очень тонкой пленкой оксида галлия со структурой стекла. Пленки Ga2O3 толщиной всего в сотню атомных слоев наносили на графен. Причем сам способ нанесения был интересным: слой графена, лежащего поверх окисленной подложки кремния, аккуратно прикладывали к поверхности жидкого галлия, на которой всегда присутствует оксидная пленка. Так удалось покрыть ею около квадратного сантиметра графена. Прежде диэлектрические материалы, к примеру оксиды металлов или оксинитрид кремния, наносили на графен с помощью сложных процессов, включающих ионную бомбардировку.

Материаловеды отработали простые технологии обращения с галлием, который плавится при температуре чуть выше комнатной (30°C). Они очень дешевы по сравнению с обычными способами получения пленок. Эксперименты показали, что плазменное нанесение других оксидов, например Al2O3, поверх графена разрушает его лишь там, где он не был защищен оксидом галлия. Простота процесса пассивации дает возможность встроить его в современные технологии производства электронных приборов.

Интересно, что оксид галлия не только защищает пленку графена, но и улучшает ее электронные характеристики, поскольку обладает хорошими диэлектрическими свойствами. Это означает, что электроизолирующие слои приборов можно сделать очень тонкими, а сами приборы — миниатюрными и экономными. Изоляторы с малыми токами утечки позволят получить высококачественные транзисторы.

Неожиданно выяснилось, что при температуре ниже –53°С у пассивированных оксидом галлия графеновых слоев уменьшилось электросопротивление и увеличилась подвижность электронов. Физики установили, что явление, ранее на графене не наблюдавшееся, связано со снижением потока тепла от него к окружающим пленкам. Работа появилась в декабре в журнале Nano Letters.


Nano Letters, 2022

Разные разности
Пингвины во сне
Все мы знаем, как важен сон. В этом смысле очень тяжело молодым мамам. Первый месяц-два, когда детеныша надо кормить каждые три часа, о ночном сне можно забыть. И это тяжело, женщины знают. А как животные с этим справляются? Например — птицы? Би...
Долгожители обязаны вирусам
Почему при прочих равных условиях одни доживают до ста лет, а другие — нет? Исследователи из Копенгагенского университета решили поискать ответ на этот вопрос в кишечнике долгожителей, а точнее — в том гигантском сообществе бактерий, которы...
Сердце требует движения
Огромное количество исследователей во всем мире изучает сердечно-сосудистые заболевания и пытается найти универсальное решение. И на самом деле все они сходятся в одном: универсальное решение есть, и это — движение.
Фантастический телескоп
Два года назад NASA запустило в космос уникальную инфракрасную обсерваторию, до сей поры невиданную — телескоп Джеймс Уэбб. Мы уже рассказывали об этом, но не грех и повторить, потому что это настоящее рукотворное чудо.